Präzision 304 Edelstahl Dreiwege Vakuumkammer mit innerem Kanal Entgraten und Elektropolieren

Wir haben eine Präzision304 Edelstahl Dreiwege Vakuumkammerfür eine Halbleiterwafer-Herstellungsanwendung. Diese Multi-Port-Vakuumkomponente verfügt über sich kreuzende interne Kanäle, die Strömungswege für die Gasverteilung schaffen und zwei kritische Herstellungsherausforderungen stellen:Grabbentfernung an Querlochkreuzungen und Innenfläche Elektropolierenfür ultrasaubere Vakuumleistung. Kreuzbohrte Kreuzungen in Edelstahl sind berüchtigt für die Herstellung hartnäckiger Graben, die schwer zu erreichen und zu entfernen sind, aber jeder Restgrat kann in Halbleitervakuumumgebungen zu einer Verunreinigungsquelle werden. Wir implementierten spezialisierte Entgratwerkzeuge in Kombination mit Hochdruckspülen, um auf interne Verbindungen zuzugreifen, gefolgt von kontrollierten Elektropolierparametern, um die erforderliche Oberflächenverbindung ohne Überätzung oder Pitting zu erreichen. Das Ergebnis: Vakuumfertige Kammern, die den Reinigungsstandards der Halbleiterindustrie entsprechen.

Projektübersicht

Wichtige technische Highlights

• Cross-Loch Burr EntfernungInterne Kanalkreuzungen wurden mit spezialisierten Rechtwinkel- und Flexwellenentgratungswerkzeugen zugegriffen, gefolgt von Hochdruckspülen, um eine vollständige Partikelentfernung zu gewährleisten - kritisch für die Verhinderung von Kontaminationen in Vakuumanwendungen.
• ElektropolierprozesssteuerungVakuum-Elektropolierung wurde auf Innenflächen aufgetragen, um die mikroraue Schicht zu entfernen, Burrs zu beseitigen und eine glatte, nicht poröse Oberfläche zu schaffen. Die Forschung zeigt, dass das Vakuumgestützte Elektropolieren während des Prozesses Oberflächenblasen reduziert, die Oberflächenrauheit verbessert und Oberflächenblücke minimiert [Zitat: 3].
• SchweißqualitätAlle inneren Schweißen wurden vor dem Elektropolieren TIG-Schweißen mit voller Durchdringung geschweißt und glatt gemahlen, wodurch Spalte beseitigt wurden, die Prozessgase einfangen könnten.

Qualitätsprüfung

Jede Kammer wurde einer Boroskopinspektion auf innere Oberflächenreinigkeit und Schweißqualität unterzogen, Oberflächenrauheitsprüfung nach dem Elektropolieren und Heliumleckprüfung, um die Vakuumintegrität zu bestätigen.

Industrieanwendungen

Ideal für Halbleiterwafer-Verarbeitungskammern, Vakuum-Ablagerungssysteme, Gasverteilungskollektoren und hochreine Vakuum-Baugruppen.

Warum Partner mit uns sein?

• Nachgewiesene Expertise inHerstellung von Vakuumkomponenten aus Edelstahl
• In-houseElektropolierung und VakuumleckprüfungFähigkeiten
• Spezialisierte Techniken fürCross-Loch Burr Entfernungin begrenzten Geometrien
• 12+ Jahre Erfahrung in der Präzisionsherstellung in den Bereichen Halbleitergeräte