Precyzyjna 304 Trójkierunkowa komora próżniowa ze stali nierdzewnej z wewnętrznym kanałem do odkładania i elektropolerowania

Produkowaliśmy precyzjęTrójkierunkowa komora próżniowa ze stali nierdzewnej 304do zastosowania w produkcji płytek półprzewodnikowych. Ten wieloportowy komponent próżniowy posiada przecinające się kanały wewnętrzne, które tworzą ścieżki przepływu do dystrybucji gazu, co stanowi dwa krytyczne wyzwania produkcyjne:usuwanie burr na skrzyżowaniach otworówielektropolerowanie powierzchni wewnętrznejdla ultraczystej wydajności próżniowej. Przekrzyżowe skrzyżowania ze stali nierdzewnej są znane z wytwarzania wytrwałych dziur, do których trudno jest uzyskać dostęp i usunąć, ale każda pozostała dziura może stać się źródłem zanieczyszczenia w środowiskach próżniowych półprzewodników. Wdrożyliśmy wyspecjalizowane narzędzia do odkładania w połączeniu z płukaniem pod wysokim ciśnieniem, aby uzyskać dostęp do wewnętrznych skrzyżowań, a następnie kontrolowane parametry elektropolerowania, aby osiągnąć wymagane wykończenie powierzchni bez nadmiernego trawienia lub szczelinowania. Rezultat: komory próżniowe spełniające standardy czystości w przemyśle półprzewodnikowym.

Przegląd projektu

Kluczowe cechy techniczne

• Usuwanie Burr Cross-HoleDo skrzyżowań kanałów wewnętrznych uzyskano dostęp za pomocą wyspecjalizowanych narzędzi do usuwania prostokątnych i elastycznych wałów, a następnie płukania pod wysokim ciśnieniem, aby zapewnić całkowite usuwanie cząstek - kluczowe dla zapobiegania zanieczyszczeniu w zastosowaniach próżniowych.
• Kontrola procesu elektropolerowaniaElektropolerowanie próżniowe zostało zastosowane na powierzchniach wewnętrznych, aby usunąć warstwę mikro-szorstką, wyeliminować dziury i stworzyć gładką, nieporostą powierzchnię. Badania wykazują, że elektropolerowanie wspomagane próżnią zmniejsza pęcherzyki powierzchniowe podczas procesu, poprawiając szorstkość powierzchni i minimalizując dziury powierzchniowe [cytat: 3].
• Jakość spawaniaWszystkie spawy wewnętrzne były spawane TIG z pełną penetracją i szlifowane gładko przed elektropolerowaniem, eliminując szczeliny, które mogłyby uwięzić gazy procesowe.

Weryfikacja jakości

Każda komora została poddana inspekcji boreskopowej pod kątem czystości powierzchni wewnętrznej i jakości spawania, weryfikacji szorstkości powierzchni po elektropolerowaniu oraz testowania wycieku helu w celu potwierdzenia integralności próżni.

Zastosowania przemysłowe

Idealny do komor przetwarzania płytek półprzewodnikowych, systemów osadzania próżniowego, kolektorów dystrybucji gazu i zespołów próżniowych o wysokiej czystości.

Dlaczego współpracować z nami?

• Udowodniona wiedza wprodukcja komponentów próżniowych ze stali nierdzewnej
• Wewnętrznieelektropolerowanie i badania wycieku próżniowegomożliwości
• Specjalizowane techniki dlausuwanie dziury krzyżowejw geometriach ograniczonych
• Ponad 12 lat doświadczenia w produkcji precyzyjnej w sektorze sprzętu półprzewodnikowego