Точная 304 нержавеющая сталь трехсторонняя вакуумная камера с внутренним каналом Deburring и электрополирование

Мы создали точностьТрёхсторонняя вакуумная камера из нержавеющей стали 304для применения в изготовлении полупроводниковых пластин. Этот многопортовый вакуумный компонент имеет пересекающиеся внутренние каналы, которые создают пути потока для распределения газа, представляя две критические производственные проблемы:удаление грабки на перекрестных перекрестках отверстийиэлектрополирование внутренней поверхностидля ультрачистых вакуумных характеристик. Перекрестные сверленные пересечения из нержавеющей стали известны тем, что производят упорные грабы, к которым трудно получить доступ и удалить, однако любая остатка грабы может стать источником загрязнения в полупроводниковых вакуумных средах. Мы внедрили специализированные инструменты для обезвреживания в сочетании с промыванием под высоким давлением для доступа к внутренним соединениям, а затем контролируемые параметры электрополирования для достижения необходимой поверхностной отделки без чрезмерного травления или пробивания. Результат: вакуумные камеры, отвечающие стандартам чистоты полупроводниковой промышленности.

Обзор проекта

Ключевые технические моменты

• Удаление кросс-отверстия BurrДоступ к внутренним пересечениям каналов осуществлялся с помощью специализированных инструментов для обезвреживания прямоугольных и гибких валов, за которыми последовало промывание под высоким давлением для обеспечения полного удаления частиц, что имеет решающее значение для предотвращения загрязнения в вакуумных приложениях.
• Управление процессом электрополированияВакуумное электрополирование применялось на внутренние поверхности, чтобы удалить микро-грубый слой, устранить разрезы и создать гладкую, непористую поверхность. Исследования показывают, что вакуумная электрополировка уменьшает поверхностные пузырьки во время процесса, улучшая шерсткость поверхности и минимизируя пробелы поверхности [цитата: 3].
• Качество сваркиВсе внутренние сварки были сварены TIG с полным проникновением и размельчены гладко перед электрополированием, устраняя щелины, которые могли захватывать процессные газы.

Проверка качества

Каждая камера подвергалась бороскопному осмотру на предмет чистоты внутренней поверхности и качества сварки, проверке шерсткости поверхности после электрополирования и испытанию утечки гелия для подтверждения целостности вакуума.

Отраслевые приложения

Идеально подходит для камер обработки полупроводниковых пластин, систем вакуумного осаждения, коллекторов распределения газа и вакуумных сборов высокой чистоты.

Почему сотрудничать с нами?

• Доказанный опыт визготовление вакуумных компонентов из нержавеющей стали
• Внутренниеэлектрополирование и испытание вакуумной утечкиПотенциал
• Специализированные методы дляудаление кросс-отверстияв ограниченных геометриях
• 12+ лет опыта точного производства в секторах полупроводникового оборудования