Точный фланц из нержавеющей стали 304 с высокой точностью плоскости и плотностью

Мы успешно изготовили точностьФланца из нержавеющей стали 304для применения оборудования для автоматизации полупроводников. Этот критически важный компонент герметического интерфейса требует исключительной плоскости и поверхностной отделки для обеспечения надежной вакуумной или жидкостной герметизации в средах обработки полупроводников, что создает значительные проблемы с обработкой, включаястрогие требования к плоскости фланцаивысокоточная уплотнительная поверхность . Через одно-настройка ЧПУ токарной и фрезерной с точностью обращения операций, мы поставили фланцы, отвечающие стандартам производительности уплотнения полупроводникового класса.

Обзор проекта

Ключевые технические моменты

• Точная плоскость фланца и поверхность уплотнения: Достигнутая плоскость ≤0.005mm и окончание поверхности Ra≤0.4μm на герметической поверхности черезоднонастройка точности обращенияс оптимизированными параметрами отделки — обеспечение уплотнения от утечки в полупроводниковых вакуумных и жидкостных системах.
• Инновации в процессе:
  • Один-настройка поворотная мельницаКак токарные, так и фрезерные операции выполняются в одной установке крепления из общей даты — поддерживая идеальное геометрическое выравнивание между пломбой пломбы, узором отверстия болта и отверстием.
  • Точность уплотнения лица отделкиЛегкие отделочные проходы с контролируемыми скоростями подачи и острыми инструментами обеспечивают плоскость на микронном уровне и зеркально-подобную поверхность - крайне важная для герметической производительности О-кольца / уплотнения.
  • Точность узора отверстия болтаТочная индексация и бурение операций поддерживают последовательное позиционирование отверстия болта для надежного спаривания фланца с фланцем.
  • 304 Нержавеющая сталь ОбработкаОптимизированные параметры резки и выбор инструментов управляют тенденциями к затверждению работы, обеспечивая последовательную точность размеров и отделку поверхности.
• Качество поверхности:
  • Уплотнительная поверхность достигает плоскости ≤0,005 мм с отделкой Ra≤0,4 мкм — соответствует требованиям к уплотнению полупроводникового класса.
  • Все фланцевые поверхности без разрезов и готовы к сборке.

Проверка качества

Каждый компонент подвергался всестороннему осмотру с помощьюИзмерение CMMдля плоскости фланца (≤0.005 мм) и точности размеров (±0.015 мм), дополненнойиспытание грубости поверхности (Ra≤0.4μm на поверхности уплотнения) и визуальный осмотр.

Отраслевые приложения

Это решение демонстрирует наш опыт впроизводство точных уплотнительных компонентовидеально подходит для:
✓ Полупроводниковые вакуумные фланцы ✓ Интерфейсы уплотнения жидкости ✓ Фланцы точного оборудования ✓ Подключения системы автоматизации

Почему сотрудничать с нами?

• Доказанный опыт вточный контроль плоскости фланца(≤0.005mm)
• Развитыеотделка поверхности уплотнения (Ra≤0.4μm) для уплотнения от утечки
• Единоустановочный станок дляпоследовательное геометрическое выравнивание
• 12+ лет опыта точного производства в секторах полупроводников и автоматизации