Präzision 6061 Quadratflansch Rotationsadapterplatte mit Ebenheit und Spannungsverformungsregelung

Wir haben erfolgreich eine Präzision hergestellt6061 quadratische Flanschdrehadapterplattefür eine Anwendung in Halbleitervakuumgeräten. Diese Präzisionsschnittstellenkomponente verfügt über eine quadratische Flanschkonfiguration mit mehreren Montagefunktionen, was erhebliche Bearbeitungsherausforderungen darstellt, einschließlichstrenge Ebenheitsanforderungen über die dünne Platte hinweg und spannungsbedingte Verformung beim DünnplattenfräsenDünne Aluminiumplatten sind besonders anfällig für Verzerrungen durch Restspannungsfreisetzung, Klemmkräfte und Bearbeitungswärme. Durch spannungsfreie Bearbeitungssequenzen, spannungsarme Befestigungen und symmetrische Materialentfernungsstrategien lieferten wir flache, dimensionsstabile Adapterplatten, die den Spezifikationen von Halbleitervakuumausrüstungen entsprechen.

Projektübersicht

Wichtige technische Highlights

• Prävention von Dünnplattenspannungsverformungen : Implementiertspannungsentlastende Bearbeitungssequenzenmit symmetrischer Materialentfernung von beiden Seiten der Platte - so dass sich die Restspannungen vor der Endfertigung entspannen. Studien zeigen, dass eine signifikante Materialentfernung das Spannungsgleichgewicht stört, innere Spannungen freigibt und die Platte verformt. Unser stufenförmiger Ansatz verwaltet die Spannungsfreiheit und behält gleichzeitig die Dickenkontrolle.
• Prozessinnovation:
  • Stufenweise Stress-Relief SequenzBeide Seiten abwechselnd mit Zwischenspannungspausen, gefolgt von Abschlussdurchgängen, rauh zu machen, um " Bogen" oder " Tasse" Verzerrung häufig im Dünnplattenfräsen.
  • Spannungsarme Befestigung: Kundenspezifische Armaturen mitVollflächenvakuum oder mechanische TrägerUnterstützung der gesamten Plattenunterseite - Beseitigung der klemmend induzierten Verformung und Aufrechterhaltung einer konsistenten Ebenheit während der Bearbeitung.
  • Symmetrische Materialentfernung : Wechselnde Schnitte auf beiden Plattenflächen halten eine ausgewogene Spannungsverteilung bei - verhindern die asymmetrische Spannungsfregung, die eine Verformung verursacht.
  • Kontrollierte KühlmittelanwendungTemperaturgesteuertes Kühlmittel minimiert thermische Verzerrungen bei der Hochgeschwindigkeitsbearbeitung der Dünnplatte.
• Oberflächenqualität:
  • Präzisionsfertigung erreicht ≤0.01mm Ebenheit über die gesamte Plattenoberfläche.
  • Schnittstellenflächen halten Ra≤1.6μm Finish für konsistente Komponentenpaarung.

Qualitätsprüfung

Jede Komponente wurde umfassend geprüft mitCMM Messungfür Ebenheit (≤0,01mm) und Maßgenauigkeit (±0,015mm), ergänzt durchOberflächenrauheitsprüfung (Ra≤1.6μm) und visuelle Inspektion für Verzerrung und Oberflächendefekte.

Industrieanwendungen

Diese Lösung zeigt unsere Expertise inPräzisionsdünnplattenadapterkomponentenherstellungIdeal für:
✓ Adapterplatten für Halbleitervakuumgeräte ✓ Rotationsschnittstelle Montageflansche ✓ Präzisionsdünnplattenbauteile ✓ Ausrüstungsmontierplatten

Warum Partner mit uns sein?

• Nachgewiesene Expertise inDünnplattenbearbeitungmit Stressdeformationsverhütung
• FortgeschrittenStress-Relief-Sequenzierung und symmetrische EntfernungStrategien
• Spannungsarme Befestigung fürebenheitskritische Komponenten
• Mehr als 12 Jahre Erfahrung in der Präzisionsherstellung im Bereich Halbleiter- und Vakuumausrüstungen