Piastra di adattatore rotativo a flangia quadrata di precisione 6061 con controllo della deformazione della pianura e della tensione

Abbiamo realizzato con successo una precisionePiastra adattatore rotativo flangia quadrata 6061per un'applicazione di apparecchiature a vuoto a semiconduttori. Questo componente di interfaccia di precisione presenta una configurazione di flangia quadrata con più caratteristiche di montaggio, presentando importanti sfide di lavorazione tra cuirigorosi requisiti di piattezza sulla piastra sottileedeformazione indotta da stress durante la fresatura a piastra sottileLe piastre sottili di alluminio sono particolarmente suscettibili alla distorsione causata dal rilascio di tensioni residue, dalle forze di serratura e dal calore di lavorazione. Attraverso sequenze di lavorazione a bassa tensione, fissaggio a bassa tensione e strategie simmetriche di rimozione del materiale, abbiamo consegnato piastre adattatrici piatte e dimensionalmente stabili che soddisfano le specifiche delle attrezzature a vuoto a semiconduttori.

Panoramica del progetto

Principali punti salienti tecnici

• Prevenzione della deformazione da stress a piastra sottile : Implementatosequenze di lavorazione per sollievo della tensionecon rimozione simmetrica del materiale da entrambi i lati della piastra, consentendo alle tensioni residue di rilassarsi prima della finitura finale. Gli studi dimostrano che la rimozione significativa del materiale interrompe l'equilibrio delle tensioni, rilasciando tensioni interne e causando la deformazione della piastra. Il nostro approccio a fasi gestisce il rilascio delle tensioni mantenendo il controllo dello spessore.
• Innovazione dei processi:
  • Sequenza di alleviamento dello stress : Roughing entrambe le facce in passaggi alternati con pause intermedie di alleviamento della tensione, seguite da passaggi finali di finitura - evitando il " arco" oppure " tazza" distorsione comune nella fresatura a piastra sottile.
  • Fissaggio a bassa tensione: Apparecchiature personalizzate convuoto a superficie completa o sostegno meccanicosupportare l'intero lato inferiore della piastra - eliminando la deformazione indotta dal serramento e mantenendo una piattezza coerente durante la lavorazione.
  • Rimozione simmetrica del materialeI tagli alternativi su entrambe le facce della piastra mantengono una distribuzione equilibrata della tensione, evitando il rilascio asimmetrico della tensione che provoca la deformazione.
  • Applicazione di refrigerante controllatoIl refrigerante a temperatura controllata riduce al minimo la distorsione termica durante la lavorazione ad alta velocità della piastra sottile.
• Qualità della superficie:
  • La finitura di precisione raggiunge ≤0.01mm di piattezza su tutta la superficie della piastra.
  • Le superfici di interfaccia mantengono la finitura Ra≤1.6μm per un accoppiamento coerente dei componenti.

Verifica qualità

Ogni componente è stato sottoposto a un'ispezione completa utilizzandoMisurazione CMMper la piattezza (≤0.01mm) e la precisione dimensionale (±0.015mm), completata daprova di rugosità della superficie (Ra≤1.6μm) e ispezione visiva per distorsioni e difetti superficiali.

Applicazioni Industriali

Questa soluzione dimostra la nostra esperienza infabbricazione di componenti adattatori a piastra sottile di precisioneIdeale per:
✓ Piastre adattatore per apparecchiature a vuoto a semiconduttore ✓ Flange di montaggio dell'interfaccia rotativa ✓ Componenti strutturali a piastra sottile di precisione ✓ Piastre di montaggio dell'attrezzatura

Perché collaborare con noi?

• Esperienza comprovata inlavorazione a piastra sottilecon prevenzione della deformazione da stress
• Avanzatosequenziamento stress-relief e rimozione simmetricastrategie
• Fissaggio a bassa tensione percomponenti critici per la pianura
• Oltre 12 anni di esperienza nella produzione di precisione nei settori dei semiconduttori e delle apparecchiature per vuoto