精密304ステンレス鋼内槽バリ取り電気研磨三方真空室

我々は精密な304ステンレス三方真空チャンバ半導体ウェハの製造用途に用いられる。このマルチポート真空アセンブリは交差する内部通路を有し、ガス分配のために流動経路を創造し、これは2つの重要な製造課題をもたらした：横穴交差部のバリ除去と内面電気研磨超清浄真空性能ステンレス鋼におけるクロスドリル交差点は、近接や除去が困難な頑固なバリの発生で悪名高いが、残ったバリはいずれも半導体真空環境における汚染源になる可能性がある。専用のバリ取りツールを実装し、高圧洗浄と結合して内部接合部に入り、その後、必要な表面仕上げを実現するために電気研磨パラメータを制御し、過度なエッチングや孔食が発生しないようにしました。

プロジェクト概要

プロジェクト名	304ステンレス三方真空チャンバ
キーメトリック	仕様
内面状態	すべての交差穴の交差にバリがない
表面処理	電気研磨内面
次元許容	±0.02 mm（キーポートとシールフィーチャー）
ざいりょう	304ステンレス鋼
プロセス	CNC加工+TIG溶接+電気研磨

主要な技術的ハイライト

十字穴バリ除去：専用の直角およびフレキシブルシャフトバリ除去ツールを使用して内部通路の交差部に入り、その後高圧洗浄を行い、粒子を完全に除去することを確保することは、真空用途での汚染を防止するために重要である。
電気研磨プロセス制御：内面を真空電気研磨し、微粗層を除去し、バリを除去し、滑らかで穴のない表面を形成する。研究によると、真空補助電気研磨は加工過程における表面気泡を減少させ、表面粗さを改善し、表面キャビテーションを最大限に減少させることができる[引用：3]。
ようせつしつりょう：すべての内部溶接は電気研磨の前にTIGを完全に溶融して溶接し、滑らかに研磨し、プロセスガスを蓄積する可能性のある隙間を解消した。