精密304ステンレス真空フランジシリンダ、シール面平坦度と同軸度制御

我々は精密な製造に成功した304ステンレス真空フランジ筒工業用真空熱処理装置の応用に用いる。この重要な真空チャンバ部品は円筒体と精密密封フランジを一体化し、重大な加工課題をもたらしている。厳格なフランジシール面の平坦度とリング穴の同軸度要求、およびステンレス切削接着と工具加速摩耗これは材料の高可塑性と低熱伝導性によるものである[引用：11]。FETエッジ処理のための専用コーティングツール、最適化された切断パラメータ、精密穴あけ操作により、密封性能基準を満たす真空フランジを提供しました。

プロジェクト概要

プロジェクト名	304ステンレス真空フランジシリンダ
キーメトリック	仕様
シール面平坦度	≦0.005 mm（真空シール面）
フランジ同軸度	≦0.01 mm（リング穴からシリンダ軸まで）
次元許容	±0.015 mm（キーシールとインタフェース特性）
ひょうめんあらさ	Ra≦0.8μm（シール面仕上げ）
ざいりょう	304ステンレス鋼
表面処理	例えば機械加工
加工プロセス	NCターニング+NCミリング+精密ボーリング

主要な技術的ハイライト

シール面平坦度と同軸度制御：シール面の平坦度≦0.005 mm、リング穴とシリンダ軸線の同軸度≦0.01 mmシングルスリーブ精密ボーリングと端面加工操作・適切な真空シール圧縮と漏れのないチャンバ性能を確保する。単一の設定方法により、幾何配置に影響を与える可能性のある再固定誤差が解消されます（参照：5）。
技術革新:
- ステンレス専用工具:使用するツールTiAlSiベースナノコーティング及びFET（微細エッジ処理）-鋭利で滑らかなエッジは接着（接着）を減少させ、加工硬化層を最大限に減少させ、コーティングの高硬度と耐熱性は急速な摩耗に抵抗できる[引用：3][引用：11]。
- 接着と堆積エッジの予防：正の前刃ジオメトリを持つ制御された切削速度は、材料が切削刃に付着するのを防止し、表面仕上げの悪さと工具故障を加速させるスタック刃を低減することができる[参照：7][参照：11]。
- チップ制御の最適化：滑らかな流動面を有する専用の切り屑幾何形状は、均一な切り屑排出を確保し、切り屑の絡み合いを防止し、それによって仕上げ作業中にシール面の仕上げ度を損なうことができる[参照：3]。
- シングルセットターニングフライスばん：単一の固定装置で円筒形旋削、フランジ面、環状穴あけ、ボルト穴あけパターンを加工し、完全な幾何配置を維持する。
表面品質:
- シール面の平坦度は≦0.005 mm、Ra≦0.8μmであり、真空シールの要求を満たす。
- リング穴とシール面にはスクラッチ、ウォブリング跡、バリがない[参照：12]。